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在電離真空計中,電子在飛行路途中產生的正離子數,正比于氣體密度n,在一定溫度下正比于氣體的壓力p。因此,可根據離子電流的大小指示真空度。
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利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關,元件的溫度又與氣體的熱傳導有關,熱傳導量又與壓力成反比的原理來測量真空度的真空計。
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