填空題

?鋁膜作為器件的內(nèi)電極，有抗電遷移性（）的特點(diǎn)。

答案：差

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干法刻蝕的方式主要有：濺射刻蝕、等離子體刻蝕、（）刻蝕三種。

答案：反應(yīng)離子

多組分多源蒸發(fā)的方法有：同時(shí)蒸發(fā)，（）蒸發(fā)兩種。

答案：順次