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氧化還原反應沉積
答案:
一些元素的氫化物有機烷基化合物常常是氣態(tài)的或者是易于揮發(fā)的液體或固體,便于使用在CVD技術中。如果同時通入氧氣,在反應器...
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名詞解釋
物理氣相沉積
答案:
以物理機制來進行薄膜沉積而不涉及化學反應的沉積技術,所謂物理機制是物質(zhì)的相變化現(xiàn)象,如蒸鍍,蒸鍍源有固態(tài)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)濺鍍,...
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名詞解釋
化學氣相沉積
答案:
是通過化學反應的方式,利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源,在反應器內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化...
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