問答題

【簡答題】簡述化學(xué)氣相沉積法的步驟。

答案： A.反應(yīng)物已擴(kuò)散通過界面邊界層；
B.反應(yīng)物吸附在基片的表面；
C.化學(xué)沉積反應(yīng)發(fā)生；
D...

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