答案：準(zhǔn)確控制薄膜的組分和摻雜水平、可在復(fù)雜的襯底上沉積薄膜、不需要昂貴的真空設(shè)備、高溫沉積可改善結(jié)晶完整性、可在大尺寸基片上...

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問答題
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問答題
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答案：（1）外延生長中，外延層中的雜質(zhì)濃度可以方便地通過控制反應(yīng)氣流中的雜質(zhì)含量加以調(diào)節(jié)，而不依賴于襯底中的雜質(zhì)種類與摻雜水平...