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【簡(jiǎn)答題】在實(shí)際的SiO
2
–Si系統(tǒng)中,存在幾種電荷?
答案:
①可動(dòng)電荷: 指Na
+
、K
+
離子,來(lái)源于工藝中的化學(xué)試劑、器皿和各...
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述硅熱氧化過(guò)程中有哪些階段?
答案:
第一階段:反應(yīng)速度決定氧化速度,主要因?yàn)檠醴肿?、水分子充足,硅原子不足?br />第二階段:擴(kuò)散速度決定氧化速度,主要...
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述什么是硅熱氧化以及氧化的工藝目的、氧化方式及其化學(xué)反應(yīng)式。
答案:
硅熱氧化是氧分子或水分子在高溫下與硅發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并在硅片表面生長(zhǎng)氧化硅的過(guò)程。
氧化的工藝目的:在硅片上生長(zhǎng)...
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