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【簡答題】雜質(zhì)在硅中有哪些擴(kuò)散機(jī)制?
答案:
①間隙式擴(kuò)散;
②替位式擴(kuò)散。
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答案:
①結(jié)構(gòu)及質(zhì)量:熱生長的比沉積的結(jié)構(gòu)致密,質(zhì)量好。
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答案:
①氧化溫度;
②氧化時間;
③摻雜效應(yīng):重?fù)诫s的硅要比輕摻雜的氧化速率快
④硅片晶向:<1...
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