問答題

答案：傳統(tǒng)的RIE系統(tǒng)等離子體離化率最大0.1%，因而需要較多的氣體以產(chǎn)生足夠的粒子。較高的氣壓使得粒子碰撞頻繁，反應(yīng)粒子很難...

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答案： ①對不需要刻蝕的材料（主要是光刻膠和下層材料）的高選擇比；
②可接受產(chǎn)能的刻蝕速率；
③好的側(cè)壁剖面...

答案：

①刻蝕速率；
②刻蝕偏差；
③選擇比；
④均勻性；
⑤刻蝕剖面。