名詞解釋

化學(xué)氣相沉積（CVD）

答案：化學(xué)氣相沉積是利用電阻加熱、等離子體、光輻射等能源使某些氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)物質(zhì)并沉積在襯底表面形成薄膜的過程...

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