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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述集成電路對(duì)薄膜的要求。
答案：
①好的臺(tái)階覆蓋能力；
②填充高深寬比間隙的能力；
③好的厚度均勻性；
④高純度和高密度；<...
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③好的厚度均勻性；
④高純度和高密度；<...
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名詞解釋
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答案：
化學(xué)氣相沉積是利用電阻加熱、等離子體、光輻射等能源使某些氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)物質(zhì)并沉積在襯底表面形成薄膜的過(guò)程...
