填空題

離子注入雜質濃度分布中最重要的二個射程參數(shù)是（）和（）。

答案：平均投影射程；平均投影標準差

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外延層的遷移率低的因素有原材料純度（）；反應室漏氣；外延層的晶體（）；系統(tǒng)沾污等；載氣純度不夠；外延層晶體缺陷多；生長工藝條件不適宜。

答案：不夠；質量差

微波混合集成電路是指工作頻率從300MHz～100kMHz的混合集成電路，可分為分布參數(shù)微波混合集成電路和（）微波混合集成電路兩類。

答案：集總參數(shù)