問答題

【論述題】

下圖為一個典型的離子注入系統(tǒng)。(1)給出1~6數(shù)字標(biāo)識部分的名稱,簡述其作用。(2)闡述部件2的工作原理。

答案: 1.離子源2.分析磁塊3.加速器4.中性束閘5.x&y掃描板6.法拉第杯
1.離子源作用:產(chǎn)生注入用的離子原理...
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【論述題】

Si-SiO2界面電荷有哪幾種?簡述其來源及處理辦法。

答案: 可動離子電荷Qm來源:主要來源于Na+等網(wǎng)絡(luò)改變者。解決辦法:為了降低Na+的玷污,可以在工藝過程...
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