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填空題
如果淀積的膜在臺(tái)階上過度地變薄，就容易導(dǎo)致高的（）、（）或者在器件中產(chǎn)生不希望的（）。
答案：
膜應(yīng)力；電短路；誘生電荷
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填空題
在外延工藝中，如果膜和襯底材料（），例如硅襯底上長硅膜，這樣的膜生長稱為（）；反之，膜和襯底材料不一致的情況，例如硅襯底上長氧化鋁，則稱為（）。
答案：
相同；同質(zhì)外延；異質(zhì)外延
填空題
縮略語PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名稱分別是（）、（）、高密度等離子體化學(xué)氣相淀積和（）。
答案：
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積；低壓化學(xué)氣相淀積；常壓化學(xué)氣相淀積
