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【簡答題】硅酸鹽。
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硅酸鹽是一種廉價的緩沖劑,在清洗液中,它對控制pH值的變化、保證去污效果有一定作用。其代表性的品種是硅酸鈉(Na
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問答題
【論述題】簡述硅片表面污染的來源。
答案:
硅片表面污染的來源主要有以下幾方面:
(1)有機(jī)物沾污:包括切、磨、拋工藝中的潤滑油脂;石蠟、松香等粘合劑;手...
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