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問答題
【簡答題】解釋晶體晶向對氧化物生長的影響。
答案：線性氧化物速率依賴于晶向的原因是（111）面的硅原子密度比（100）面的大。因此，在線性階段，（111）硅單晶的氧化速率...
問答題
【簡答題】摻雜對氧化物生長的影響是什么？
答案：重摻雜的硅要比輕摻雜的氧化速率快。