問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】什么是快速熱處理,相比于系統(tǒng)爐其6大優(yōu)點(diǎn)是什么?

答案:快速熱處理是在非常短的時(shí)間內(nèi),將單個(gè)硅片加熱至400~1300攝氏度范圍內(nèi)的一種方法。
優(yōu)點(diǎn):減小熱預(yù)算。硅中...
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