問答題

【簡答題】簡述影響化學(xué)氣相沉積制備材料質(zhì)量的幾個主要因素。

答案：（1）反應(yīng)混合物的供應(yīng)
反應(yīng)混合物的供應(yīng)是決定材料質(zhì)量的最重要因素之一。通過實(shí)驗(yàn)選擇最佳反應(yīng)物分壓配比。

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答案： A.反應(yīng)物已擴(kuò)散通過界面邊界層；
B.反應(yīng)物吸附在基片的表面；
C.化學(xué)沉積反應(yīng)發(fā)生；
D...

【簡答題】簡述CVD原理簡單的歸納。

答案：（1）CVD沉積反應(yīng)是由5個相串聯(lián)的步驟所形成的。其速率的快慢取決于其中最慢的一項(xiàng)，主要是反應(yīng)物的擴(kuò)散及CVD的化學(xué)反應(yīng)...